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美国Tousimis C系列触摸屏全自动临界点干燥仪 _晶圆专用CPD（清洁室版本）。C系列为立式（落地式）大型临界点干燥仪，可在超净间工作，有3个型号可选： 1）Autosamdri-934，用于不超过4"的晶圆超临界干燥 2）Automegasamdri-936，用于不超过6"的晶圆超临界干燥 3）Automegasamdri-938，用于不超过8"的晶圆超临界干燥

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法；具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。Autosamdri-931 Cleanroom系列，采用防静电设计，适合洁净室（超净间）材料制造应用；默认“自动模式”设置，适用于大多数晶圆和裸片MEMS应用；每次可处理多达 5片基板（晶圆或裸片）；该系列为台式临界点干燥仪，有3个型号可选：1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圆临界点干燥。2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超过2"的晶圆临界点干。3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超过3"的晶圆临界点干燥

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆（最大样品尺寸8英寸，一次同时干燥5片）等材料类样品的临界点干燥。利用二氧化碳(CO2)临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。该系列CPD通过微处理控制器来实现自动处理过程，采用防静电设计，适合洁净室（超净间）材料制造应用；该系列为台式全自动临界点干燥仪，有2个型号可选：1）AUTOSAMDRI-815 Series B，用于1"的晶圆超临界干燥。2）AUTOSAMDRI-815B Series B，用于不超过4"的晶圆超临界干燥

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆（最大样品尺寸8英寸，一次同时干燥5片）等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法；具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。客户可基于不同的应用选择不同的型号。AUTOSAMDRI-915B Series B全自动临界点干燥仪（CPD），通过微处理控制器来实现自动处理过程，采用防静电设计，适合洁净室材料制造应用；每次运行可处理5 x 6"直径的晶圆，也可一次处理或 5 x 4"、 5 x 3"、5 x 2"直径的晶圆或者 5 x 10mm 方形裸片；腔室直径：6.5" I.D.