美国Tousimis Autosamdri-931 Cleanroom系列

触屏全自动临界点干燥仪

该系列为台式临界点干燥仪，可在超净间工作，有3个型号可选：

1）Autosamdri-931_1.25"，用于1"的晶圆临界点干燥

2）Autosamdri-931_2.50"，用于不超过2"的晶圆临界点干燥

3）Autosamdri-931_3.40"，用于不超过3"的晶圆临界点干燥

临界点干燥原理
之所以称为临界点干燥（又称超临界干燥），因为它存在状态的连续性，即介质在液态和气态之间无明显的区别，分界面的表面应力降到零。这种现象具有特定的温度和压力，被称为临界点。零表面应力这种条件可用于干燥生物样品或含水材料样品，避免了表面应力对试样的损坏。 
我们在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的生物样品或含水材料样品制备时经常需要进行脱水处理（梯度脱水），但水的临界点为+374℃及3212 psi，很不方便并且容易损坏试样。通常也是非常方便的临界点干燥介质为CO2，它的临界点在+31℃及1072 psi。然而它不容易与水混合，因而必须用第三种介质，通常用乙醇或丙酮作为中间液体。这样在把过渡液体，即CO2 从液体转为气体时，在临界点无表面应力对样品的破坏。

特点和优点

❖防静电设计，适合洁净室材料制造应用

❖明亮的触摸屏控制

❖默认“自动模式”设置，适用于大多数晶圆和裸片MEMS应用

❖每次可处理多达 5片基板（晶圆或裸片）

❖创建和存贮用户自定义程序，用于不同样品

❖“慢充”功能可保护大部分脆弱样品

❖快速冷却腔室(1到3分钟内从25°C冷却至3°C)

❖采用免维护涡流旋动法进行置换搅拌，无需搅拌棒

❖外部可更换的0.5µm置换后过滤器，便于维护

❖配备耐氟样品架，可选不同腔室分别用于干燥3" 、 2"直径的晶圆或边长为10mm的方形裸片

❖对于外部钢瓶供应的液态CO₂进行颗粒过滤，截留率为99.5%以上

❖内部过滤可将过滤后的液态CO₂直接输送至工作腔室， 颗粒过滤低至0.08µm，截留率为99.999%以上

❖内置冷凝器，分离废弃乙醇和二氧化碳，消除任何管路冻结或机体静电，整个过程无噪声

❖"Stasis软件" ，干燥凝胶和其它复杂样品

主要技术规格

➢ 工作腔室尺寸：有三种腔室直径可供选择 1.25"、2.50" 、3.40"

➢ 压力测量范围：0-2000psi. 

➢ 温度测量范围：-30°C to 60°C 

➢ 控制方式：触摸屏全自动程序控制

常规配置

✓ 柔性高压液态 CO2 供应软管，便于现场安装 

✓ 液体 CO2系统输送过滤

✓ 耐氟样品架：基于不同尺寸腔室分别用于干燥3"、2"的晶圆或边长为10mm的方形裸片

✓ 柔性排气管易于安装 

✓ 备用腔室 O 形圈、腔室灯和保险丝

注：美国Tousimis产品已有近50年的历史，在中国客户中的口碑非常好。j9游会真人游戏第一品牌科技是其CPD超临界干燥仪中国区代理。Tousimis临界点干燥仪产品分为非洁净室版本和洁净室版本两大类，前者常用于电镜制样，后者多用于超净间内的材料研究用途；

非洁净室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常规临界点干燥仪

2）Samdri®-795半自动临界点干燥仪

3）Autosamdri®-815 Series A全自动临界点干燥仪

4）Autosamdri®-815B Series A全自动临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏全自动临界点干燥仪

洁净室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自动临界点干燥仪For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自动临界点干燥仪For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自动临界点干燥仪For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

5）Autosamdri®-931_2.50"触摸屏全自动多用途临界点干燥仪

6）Autosamdri®-931_3.40"触摸屏多用途全自动临界点干燥仪

7）Autosamdri®-934触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

8）Automegasamdri®-936触摸屏C系列全自动临界点`干燥仪

9）Automegasamdri®-938触摸屏C系列全自动临界点干燥仪

美国Tousimis超临界干燥仪广泛适用于生物样品，凝胶等具有微纳米3D结构的脆弱复杂样品，以及MEMS、MOF、碳纳米管、石墨烯、半导体晶圆（最大样品尺寸8英寸，一次同时干燥5片）等材料类样品的临界点干燥。利用CO2临界点状态无液相表面张力引起样品皱缩变形的原理获取具有真实形貌的干燥样品，是含水或其它液体的细胞组织等生物样品、半导体等材料样品干燥制样的有效方法；具有操作简便、控制精确、结果可重复等特点。客户可基于不同的应用选择不同的型号。